マイクロパターニングの化学物質耐性を教えてください。

以下の物質で耐性が確認できています。

・Methanol

・Ethanol

・Formaldehyde

・Acetone（蓋の部分以外）

・Silicone oil　※Mineral oil は使用できません。

なお、イマージョンオイルは下記の資料に記載のものをご使用ください。

・ Immersion Oil

【最終更新日：2024年11月7日】